装置の紹介[NPF]

【NPF013】ドラフトチャンバー(左)


名称 【NPF013】ドラフトチャンバー(左)
メーカー
導入年月日
仕様 フォトリソグラフィー用のレジスト塗布・現像プロセスにご利用いただけます。

・付帯設備:純水、窒素ガスブロー、イエローライト、局所排気、【NPF008】スピンコーター(フォト)
・使用薬品:リソグラフィーに用いるレジスト、レジスト現像液、リンス液、剥離液、及び、IPA、エタノール、アセトンなどの有機溶剤
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