装置の紹介[NPF]

【NPF032】クロスセクションポリッシャ（ALD付帯）

名称	【NPF032】クロスセクションポリッシャ（ALD付帯）
メーカー	株式会社日立ハイテクノロジーズ
導入年月日
仕様	イオンビームミリング耐性のある金属マスクを用い、平行なアルゴンイオンビームミリングによる、走査型電子顕微鏡(SEM)等の断面観察用試料を作製することができます。劈開や研磨では加工が難しいような、硬質な材料やミリングレートが異なる複合材料でも可能となります。また、専用治具へ交換することでフラットミリングを行うこともできます。・型式:IM4000 ・試料サイズ:15mm(W)×15mm(D)×7mm(H) ・イオンガン:冷陰極ペニング型・使用ガス:アルゴン・加速電圧:1～6kV ・放電電圧:1.5kV ・断面ミリングレート:100～300µm/h (加速電圧6kV時) ※材料により異なる・スイング角度:OFF～±40°