装置の紹介[NPF]
【NPF005】低真空走査電子顕微鏡
| 名称 | 【NPF005】低真空走査電子顕微鏡 |
|---|---|
| メーカー | 日立ハイテク |
| 導入年月日 | |
| 仕様 | 細く絞った電子線を2次元的に走査し、試料表面からの反射電子、及び２次電子信号により表面形状を観察します。試料のチャージアップを抑制する低真空モードでの真空度は1～270 Paで、反射電子像の分解能は5.0 nmです。一方、高真空モードでの到達真空度は0.0015 Paで、分解能は3 nmです。エネルギー分散型X線検出器が装備されているのでEDX元素分析が可能です。 ・型式:S-3500N（日立ハイテク） ・試料サイズ:15～150 mmφ ・電子銃:熱電子放出型Wヘアピンフィラメント ・加速電圧:0.3～30 kV ・分解能:高真空二次電子像:3.0 nm ・低真空反射電子像:5 nm ・低真空モードでの真空度設定:1～270 Pa ・試料ステージ:五軸モーター駆動 ・可動範囲:100 mm×50 mm ・元素分析:エネルギー分散型X線検出器（EDX） |
