装置の紹介[NPF]

【NPF010】反転露光用全面UV照射装置

名称	【NPF010】反転露光用全面UV照射装置
メーカー	共和理研
導入年月日
仕様	ポスト露光によるポジネガ反転露光にご利用いただけます。・型式:K-310P100S ・試料サイズ:小片基板～4インチφ ・露光領域:最大85mm□ ・露光源:ウシオ電機マルチライト超高圧水銀ランプ・主波長:365nm(i線) ・照度:約32mW/c㎡・露光モード:コンタクト方式