装置の紹介[ANCF]
リアル表面プローブ顕微鏡
| 名称 | リアル表面プローブ顕微鏡 |
|---|---|
| メーカー | JEOL, SII |
| 導入年月日 | 2012-07-01 |
| 仕様 | 当施設のプローブ顕微鏡は、2台のプローブ顕微鏡群から成る装置群です。 （１）リアル表面プローブ顕微鏡群１ （旧・ANCF007） 原子間力顕微鏡、走査型トンネル顕微鏡 ・型式: JEOL JSPM5400、E-SWEEP他 ・設置室名: 2-1D棟125室 ・測定機能: AM-AFM、FM-AFM、コンタクトモード、STM、KPFM、EFM ・測定環境: 大気中、液中、真空中(10-5 [Torr])、超高真空(10-10 [Torr]、使用機能に制限あり) ・温度範囲: 室温～ 300 ℃(ヒータのみ、制御なし) ・試料サイズ: 最大300 mmウエハー（測定手法によっては寸法（1mm角等）や厚さの制限有） ・液中リアルタイム測定可能（毎秒10フレーム） （２）リアル表面プローブ顕微鏡群２ （旧・ANCF008） SIIナノテクノロジ S-ImageおよびE-SWEEP ・測定機能: AM-AFM、コンタクトモード、STM、KFM、Conductive-AFM ・制御装置: 1台のNanonaviをS-ImageおよびE-SWEEPで切り替えて利用 ・測定環境: 大気中、恒湿度雰囲気(20～70%)、液中、真空中(10E-5[Torr]) ・温度範囲(E-SWEEP): -100 ℃ ～ 300 ℃(ヒータのみ、制御なし) ・試料サイズ: 最大15 mm角程度 前処理装置等 ・標準試料: 探針評価、スケール、段差等 ・研磨機、プラズマクリーナ、白色干渉計、反射分光膜厚計、化学ドラフト |