筑波大学、物質・材料研究機構、東京工業大学、産業技術総合研究所は、文部科学省委託事業である「ナノテクノロジープラットフォーム」の一環として「電子ビームリソグラフィセミナーV」を筑波大学東京キャンパスにて開催いたします。電子ビームリソグラフィー技術に関わる最新レジストプロセスからデータ補正技術、微細パターン形成の露光事例について紹介いたします。また、各セッションの終わりにオーサーズ・インタビューの時間を設けました。普段質問しづらいことを、この機会に是非、講師の先生方に個別にご質問ください。産学官にかかわらず、多くの皆様のご参加をお待ちしています。
主催：産業技術総合研究所TIA推進センター ナノプロセシング施設（NPF）
主催：物質・材料研究機構微細加工プラットフォーム
主催：筑波大学微細加工プラットフォーム
主催：東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
共催：ナノエレクトロニクス計測分析技術研究会(TSC)
協賛：GenISys株式会社
協賛：株式会社エリオニクス